科技

浸润式光刻之父林本坚:欲再造江湖

中国台湾清华大学与台积电、力积电等10家顶尖半导体企业合作的半导体研究学院,将于今年8月成立,该半导体学院请来了凭借浸润式光刻技术改写全球半导体发展史的中研院院士林本坚领军。 目前,林本坚是清华半导体...
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